◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉體結構(不銹鋼,約20升)
420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積
250(W) ×190(D) mm,3層
RIE or DP模式自動轉換
◆ 等離子發生器(韓國KM)
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續調節,自動阻抗匹配
◆ 控制系統觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界**品牌電器元件,
性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統 德國萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)進口氣動角閥、充氣閥,德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環自動穩壓控制 ◆ 氣路系統
2路工藝氣體+1路氮氣配置,電子質量流量計、針閥,美國飛托克(FITOK)氣體管路
Tel:
Tel:
Tel:
Tel: