用于用戶碳化硅基板的燒成。
2.1.1 按用戶工藝要求，詳見工藝曲線。
3.1.1主要尺寸
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爐膛尺寸 |
長×寬×高：13000×850×235mm |
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爐口尺寸 |
寬×高：810×235mm（雙爐膛） |
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推板尺寸 |
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墊板尺寸： |
230W×160L×15H (自備) |
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碼放高度： |
185mm |
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碼放方式 |
5塊×3層（每塊推板雙排） |
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爐體外形尺寸 |
（長×寬×高）：約16230×2950×1600mm（參考） |
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溫度控制柜 |
（厚×寬×高）：600×1300×2000m，mGGD標柜，1臺；（厚×寬×高）：600×600×2000m，GGD標柜，1臺 |
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4、在線聯系
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