一.中圖激光干涉儀概述

中圖激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態分析。

二.中圖激光干涉儀功能

[*]       測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。

[*]       具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。

[*]       可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

[*]       具有動態測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等。

[*]       內置國內外通用的標準，如國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。

[*]       可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動對波長進行環境補償。

[*]       測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel文檔。

[*]       安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

三.中圖激光干涉儀性能特點

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

四.中圖激光干涉儀技術參數

[*]       系統性能

?    測量方式：單頻

?    穩頻精度：0.05ppm

?    動態采集頻率：50 kHz

?    預熱時間：5-10分鐘

?    工作溫度范圍：0~38℃

?    環境溫度范圍：0~38℃，環境濕度：0~95%

?    存儲溫度范圍：-20℃~70℃

[*]       環境補償示值誤差

?    空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

?    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

[*]       線性測量

?    測量距離：0-40m

?    測量精度：0.5ppm (0-38℃)

?    測量分辨率：1nm

?    測量**大速度：3m/sec

五.中圖激光干涉儀使用規定

1、 激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人**，專人送檢，他人不得

隨意動用，以防損壞，降低精度。 

2、 激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。 

3、 對儀器要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。 

4、 激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量，此時檢測結果將收到很大的影響。 

5、 中圖儀器干涉儀所配用的筆記本為**筆記本，該筆記本不得外借，也不能安裝任何其他軟件，防止軟件沖突和病毒，保障測量數據的準確，以防測量數據丟失。 

6、 測量人員在拿取干涉儀之前，需先填寫激光干涉儀使用申請單，填寫申請表后，負責人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門領導簽字后，方可使用激光干涉儀。對其他部門人員如借用激光干涉儀，需填寫借用干涉儀使用申請單，負責人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門領導簽字后，方可借用激光干涉儀。當干涉儀使用后，將要存庫時，負責人必須點清器件，且所有器件良好，此時才能將干涉儀入庫備案。 

7、 負責人要每月對激光干涉儀的器件進行清點，并查看是否有損壞、磨損等異常情況，將檢查報告予以備案。